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高纯六氟化硫的应用
来源:www.zenuocailiao.com 发布时间:2019年12月13日

工业级六氟化硫主要用于断路器、变压器等电器设备。

六氟化硫
 六氟化硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年,国家大力发展基础电力行业,给六氟化硫厂家带来了很大的市场机遇。

 预计今明两年国内六氟化硫需求达到峰值4000~4500吨,2008~2010将稳定在4000吨左右。 

 另外高纯六氟化硫(纯度在99.99%以上),国内需求非常旺盛,而且附加值较高。
 高纯六氟化硫主要用于半导体工业中作清洗气体。

六氟化硫的成本只有NF3的几分之一,近年来,各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。

该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时,还显示出了极佳的环保前景,近年来用量有明显的提高。

据权威机构预测,2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场,总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右,

国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条,在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求,半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口,这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。 

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